Лазерної та оптоелектронної техніки
| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |
© ІРВЦ ВНТУ 2016-2021
![]() | Міжнародна науково-практична інтернет-конференціяІнноваційні технології в процесі підготовки фахівців |
| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |