Проведено аналіз використання нанотехнологій в рентгенівських мікроскопах. Проаналізовано будову та принцип роботи скануючого рентгенівського мікроскопа. Зокрема, було розглянуто роль зональної пластини та її виробництво за допомогою прогресивних нанотехологій. Було проаналізовано використання  комбінованого рішення - складена нанопластина на основі пластин Френеля та кіноформи.