Лазерної та оптоелектронної техніки
| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |
© ІРВЦ ВНТУ 2017–2025

| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |