Розмір шрифта: 

Автоматизація процесу контролю пристроїв мікросистемної техніки (МСТ), що проводиться методом атомно-силової мікроскопії (АСМ) зумовлена необхідністю дотриманням умов мінімізації впливу людського фактору та забезпечення можливості віддаленого управління і спостереження за процесом контролю. Проте, огляд відкритих літературних джерел показав відсутність інформації про створення апаратної та методичної баз для проведення нанометричного контролю таких пристроїв методом АСМ. Тому розроблення автоматизованої системи для контролю характеристик МСТ методом АСМ є задачею  актуальною, вирішення якої розглядається в даній роботі.

автоматизована система; нанометричний контроль; атомно-силова мікроскопія; мікросистемна техніка