Лазерної та оптоелектронної техніки
| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |
© ІРВЦ ВНТУ 2015–2026
Всеукраїнська науково-технічна конференція підрозділів Вінницького національного технічного університету (НТКП ВНТУ)
| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |