Лазерної та оптоелектронної техніки
| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |
© РВВ ВНТУ, 2026
Всеукраїнська науково-технічна конференція підрозділів ВНТУ
Інститут Конфуція ВНТУ

| Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | |
| Владислав Максимович Фельчин, Станіслав Євгенович Тужанський |
© РВВ ВНТУ, 2026