КОНФЕРЕНЦІЇ ВНТУ електронні наукові видання, 
X Сучасні проблеми інфокомунікацій, радіоелектроніки та наносистем (СПІРН-2025)

Розмір шрифта: 
Технологічні аспекти виготовлення швидкодіючого мікроелектронного пристрою з від’ємним диференційним опором на основі 2D наноматеріалу МоО3
Elena König, Олександр Володимирович Осадчук, Ярослав Олександрович Осадчук

Остання редакція: 2025-11-04

Анотація


Розроблено технологію виготовлення МоО3-пристрою з від’ємним диференційним опором на основі 2D матеріалу, який представляє собою нанометрові шари товщиною в один атомний шар або елементарну комірку. За звичайних умов такі матеріали є хімічно стабільними та механічно міцними, але при цьому є гнучкими. Було розроблено декілька топологій різної конфігурації для виготовлення швидкодіючого мікроелектронного пристрою  з від’ємним диференційним опором на основі 2d наноматеріалу МоО3. Топологія складається з трьох шарів: 1й шар — це нижній електрод Ті/Аu пристрою, другий шар — це напівпровідниковий матеріал аморфного триокису молібдену і третій шар – це верхній електрод пристрою також з Ti/Au.

Ключові слова


від’ємний диференційний опір; МоО3-пристрій; топологія; мікроелектронна технологія

Посилання


Pan J, Zhang Y, Yin J, Guo P, Yang Y, Ren T-L. Principles and Applications of Two-Dimensional Semiconductor Material Devices for Reconfigurable Electronics. Nanomaterials. 2025; 15(3):201. https://doi.org/10.3390/nano15030201

Cao W., Bu H., Vinet M. et al. The future transistors. Nature 620, 501–515 (2023). https://doi.org/10.1038/s41586-023-06145-x

Wang, I. Verzhbitskiy and G. Eda. "Electroluminescent Devices Based on 2D Semiconducting Transition Metal Dichalcogenides" Advanced Materials 30, e1802687 (2018) DOI: https://doi.org/10.1002/adma.201802687

M. Ye, D. Zhang and Y. Yap. "Recent Advances in Electronic and Optoelectronic Devices Based on Two-Dimensional Transition Metal Dichalcogenides" Electronics 6, 43 (2017) DOI: https://doi.org/10.3390/electronics6020043  

K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. Carvalho and A. H. Castro Neto. "2D materials and van der Waals heterostructures" Science 353, aac9439 (2016) DOI: https://doi.org/10.1126/science.aac9439

 


Повний текст: PDF