КОНФЕРЕНЦІЇ ВНТУ електронні наукові видання, 
IX Сучасні проблеми інфокомунікацій, радіоелектроніки та наносистем (СПІРН-2023)

Розмір шрифта: 
ТЕХНОЛОГІЯ ВИГОТОВЛЕННЯ МоО3-ПРИСТРОЯ З ВІД’ЄМНИМ ДИФЕРЕНЦІЙНИМ ОПОРОМ
Elena König, Олександр Володимирович Осадчук, Ярослав Олександрович Осадчук, Володимир Степанович Осадчук

Остання редакція: 2023-11-03

Анотація


Розроблено технологію виготовлення МоО3-пристроя з від’ємним диференційним опором на основі 2D матеріалу, який представляє собою нанометрові шари товщиною в один атомний шар або елементарну комірку. За звичайних умов такі матеріали є хімічно стабільними та механічно міцними, але при цьому є гнучкими. Було розроблено кілька топологій різної конфігурації на основі діода Шоткі, як окремі пристрої на одному чіпі, так і матриці по чотири елементи на чіпі. У даній роботі представлено два види топології 10µmх10µm і 300µm х300µm. Для цього використовувалась програма відкритого доступу K-Layout. Топологія складається з трьох шарів: 1й шар — це нижній електрод Ті/Аu пристрою, другий шар — це напівпровідниковий матеріал аморфного триокису молібдену і третій шар – це верхній електрод пристрою також з Ti/Au.

Ключові слова


МоО3-пристрій; від’ємний диференційний опір; мікроелектронна технологія; топологія

Посилання


1. J. Wang, I. Verzhbitskiy and G. Eda. "Electroluminescent Devices Based on 2D Semiconducting Transition Metal Dichalcogenides" Advanced Materials 30, e1802687 (2018) DOI: https://doi.org/10.1002/adma.201802687

2. M. Chhowalla, H. S. Shin, G. Eda, L.-J. Li, K. P. Loh and H. Zhang. "The chemistry of two-dimensional layered transition metal dichalcogenide nanosheets" Nature Chemistry 5, 263 (2013)

3. M. Ye, D. Zhang and Y. Yap. "Recent Advances in Electronic and Optoelectronic Devices Based on Two-Dimensional Transition Metal Dichalcogenides" Electronics 6, 43 (2017) DOI: https://doi.org/10.3390/electronics6020043

4. K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. Carvalho and A. H. Castro Neto. "2D materials and van der Waals heterostructures" Science 353, aac9439 (2016) DOI: https://doi.org/10.1126/science.aac9439

5. M. Ye, D. Zhang and Y. Yap. "Recent Advances in Electronic and Optoelectronic Devices Based on Two-Dimensional Transition Metal Dichalcogenides" Electronics 6, 43 (2017) DOI: https://doi.org/10.3390/electronics6020043

6. F. Xia, H. Wang, Di Xiao, M. Dubey and A. Ramasubramaniam. "Two-dimensional material nanophotonics" Nature Photonics 8, 899 (2014)

7. A. K. Geim and I. V. Grigorieva. "Van der Waals heterostructures" Nature 499, 419 (2013)


Повний текст: PDF